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MiniLab 090 PVD物理气相沉积系统兼容手套箱，适用于直径达11英寸的亚态的环境敏感应用。高腔室非常适合高效蒸发，但磁控管溅射也可用。
手套箱兼容大气敏感应用，适用于直径达11英寸的亚态。高腔室非常适合高效蒸发，但磁控管溅射也可用。
MiniLab 090 PVD物理气相沉积系统是用于金属、介电体和/或有机物沉积的落地式PVD工具。所有系统均包含一个带有前后门的不锈钢箱体，便于手套箱集成（允许通过手套箱和外部维修进入）。
该腔室具有较高的展弦比，适合通过蒸发技术实现高均匀涂层的长工作距离，但系统也可以配备磁控管溅射。标准配备涡轮分子泵送系统，适用于高真空基压10-7毫巴×。具体配置极其灵活，取决于客户预算和应用。配置范围从手动作的热蒸发系统到具备全自动过程控制的多技术工具。
主要特征
模块化设计
用于手套箱内装载的前滑门
后门用于维修通道
涡轮分子或低温泵送系统
基础压力<5×10-7毫巴
金属、介电体与有机物沉积
直径可达11英寸的基材
触摸屏HMI/PC用于系统控制
配备便于维护的设备
全面的安全功能与联锁装置
无尘室兼容
物理气相沉积系统
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物理气相沉积系统主要特征